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NANO FAKTUR
EBD-060100 DSP Controller
EBD-060100控制器提供經濟的閉環操作。nFControl Basic軟件提供了通過基於Windows的GUI輕鬆更改控制參數的功能。控制器與廣泛使用的應變計傳感器配合使用。它們的多功能封裝允許簡單集成到OEM設備或桌面使用。

 

EBD-120 Digital Controllers

nanoFaktur正在推出其新系列的數字控制器。因此,客戶的需求得以實現。從機箱開始:所有接口都放在正面,這樣可以果斷地保存佈線和訪問空間。有上枷鎖兩個回來,在底部,所以,最實際的整合可以選擇。

第二代EBD可用於驅動和讀取應變傳感器和電容式傳感器。可實現的分辨率是系統標稱範圍的5 ppm(rms)。內部算法允許在用參考測量系統表徵後進行線性化。在nanoFaktur,參考官方標準的最高精度探針被用作參考。因此,系統可以線性化到優於其各自完全位移的0.01%。

 

T2a Tip/Tilt, Beam-Steering

T2a壓電驅動平台僅在幾毫秒內傾斜和傾斜反射光學系統 - 這具有納伏級的分辨率。具有6和12 mrad偏轉的兩種標準版本適用於直徑達3“的光學元件。垂直軸位於平台表面下方8.3 mm處。

 

L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

L3a XYZ-Stages, 300 µm, Aperture
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

L2a XY-Stages, 300/600 µm, Aperture
L2a階段用於掃描。定位範圍為300μm或600μm。這些階段只有30毫米高。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。66×66 mm的大孔徑允許從頂部和底部訪問樣品。L2a級也可以使用集成的Z軸。

 

CPa Z-Stages, 500 µm
CPa-b00500是緊湊型Z級,可在小尺寸上提供長距離。佔地面積僅為60×60 mm。

 

CPa Z-Stages, 250 µm
CPO-L00250和CPS-D00250是緊湊型Z級,具有最小尺寸和長距離。佔地面積僅為40×40毫米。

 

CPa Z-Stages,100μm
CPO-L00100和CPS-D00100是緊湊型Z級,尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。

 

C1a X-Stages, 600 µm
C1O-L00600和C1S-D00600是緊湊型X級,尺寸最小,長達900μm。尺寸僅為60x60x21.5毫米。

 

C1a X-Stages, 250 µm
C1O-L00250和C1S-D00250是緊湊型X級,尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。超過300μm的大範圍是這些尺寸的獨特之處。

 

C1a X-Stages,100μm
C1O-L00100和C1S-D00100是緊湊型X級,尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。剛度和最低共振相對較高。這樣就可以高動態地使用這些階段。

 

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