| 產品代碼 |
CPO-L00500 |
CPS-D00500 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
- |
SGS，全橋 |
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| 範圍，開環（-45..180 V） |
600 |
600 |
微米 |
| 範圍，閉環 |
- |
500 |
微米 |
| 分辨率，開環 |
3 |
3 |
納米 |
| 分辨率，閉環 |
- |
五 |
納米 |
| 線性，閉環 |
- |
0.2 |
％ |
| 重複性 |
- |
50 |
納米 |
| 推/拉，最大 |
40/20 |
ñ |
| 橫向力，最大 |
10 |
ñ |
| 剛性 |
0.15 |
N /微米 |
| 共振，卸載 |
260 |
赫茲 |
| 共振，100 g負載 |
180 |
赫茲 |
| 電容@ 1V eff，1kHz |
4.4 |
μF |
| 本體材料 |
鋁/不銹鋼 |
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| 連接器 |
雷莫 |
DSub15 |
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| 工作溫度 |
-20 .. + 80 |
℃下 |
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CPa Z-Stages, 500 µm
詳細介紹 
