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雷射加工|雷射解決方案|雷射雕刻|雷射鑽孔|雷射切割 :: 首頁 :: 產品介紹 :: NANO FAKTUR :: CPa Z-Stages, 250 µm

NANO FAKTUR
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CPa Z-Stages, 250 µm
CPO-L00250和CPS-D00250是緊湊型Z級,具有最小尺寸和長距離。佔地面積僅為40×40毫米。

 

詳細介紹
產品代碼 CPO-L00250 CPS-D00250 單元
       
位置傳感器   SGS,全橋  
範圍,閉環 - 250 微米
範圍,開環(0..150 V) 190 微米
範圍,開環(-45..180 V) 300 微米
分辨率,開環 1.5 納米
分辨率,閉環 - 2.5 納米
線性,閉環 - 0.2
重複性 - 25 納米
推拉 15/10 ñ
橫向力量 10 ñ
剛性 0.2 N /微米
共振,卸載 210 赫茲
共振,100 g負載 190 赫茲
電容@ 1V eff,1kHz 2.2 μF
本體材料 鋁,不袗  
線長度 1.5
連接器 雷莫 DSub15  
工作溫度 -20 .. + 80 ℃下
規格說明
CPO-L00250和CPS-D00250是緊湊型Z級,具有最小尺寸和長距離。佔地面積僅為40×40毫米。

 

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