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NANO FAKTUR
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L3a XYZ-Stages, 300 µm, Aperture
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

詳細介紹
產品編號 XY300Z20 XY300Z50 XY300Z100 XYZ300 單元
           
位置傳感器 Strain-Gage,全橋  
範圍,閉環 300/300/20 300/300/50 300/300/100 300/300/300 微米
範圍,開環(-45 .. 180V) 480/480/24 480/480/60 480/480/120 480/480/360 微米
分辨率,閉環,XY / Z. 3 / 0.2 3 / 0.3 3 / 0.5 3 / 1.5 納米
分辨率,開環,XY / Z. 1.5 / 0.1 1.5 / 0.3 1.5 / 0.5 1.5 / 1.5 納米
線性,閉環 0.2
重複性,XY / Z. 30/2 30/5 30/10 30/30 納米
共振,XY,卸載 185 赫茲
共振,Z,卸載 680 600 580 450 赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1Veff 1kHz XY13.2 / Z4.4 XY13.2 / Z8.8 XY13.2 / Z13.2 μF
尺寸(長x寬x高) 150x150x30 毫米
光圈,尺寸(長x寬) 66×66 毫米
車身/平台的材質 鋁,黑色  
工作溫度 -20 .. 80 ℃下
連接器 DSub25  
電纜長度 1.5
規格說明
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

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