回首頁   加入書籤   繁體中文 | English
產品分類 Category
NANO FAKTUR
INNOLAS Photonics
INNOLAS Laser
LIGHT CONVERSION
Edgewave
RAYLASE
Elengroup
產品搜尋 Search

雷射加工|雷射解決方案|雷射雕刻|雷射鑽孔|雷射切割 :: 首頁 :: 產品介紹 :: NANO FAKTUR :: C1a X-Stages,100μm

NANO FAKTUR
點我下載檔案
C1a X-Stages,100μm
C1O-L00100和C1S-D00100是緊湊型X級,尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。剛度和最低共振相對較高。這樣就可以高動態地使用這些階段。

 

詳細介紹
產品編號 C 10-L00100 C1S-D00100 單元
       
位置傳感器 - SGS  
範圍(-45..180 V) 120 120 微米
範圍,閉環 - 100 微米
分辨率,開環 0.5 0.5 納米
分辨率,閉環 - 1 納米
線性,閉環 - 0.2
重複性,閉環 - 10 納米
加載 500 G
推拉 15/10 ñ
剛性 1.5 N /微米
最低共振,卸載 370 赫茲
最低共振,負載30g 310 赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1V eff。1kHz時 2.2 /軸 μF
本體材料 鋁,不袗  
外形尺寸 40x40x20 毫米
線長度 1.5
連接器 Lemosa DSub15  
工作溫度 -20 .. 80 ℃下
規格說明
C1O-L00100和C1S-D00100是緊湊型X級,尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。剛度和最低共振相對較高。這樣就可以高動態地使用這些階段。

 

<< 回上一頁