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NANO FAKTUR

EBD-060100 DSP Controller

EBD-060100控制器提供經濟的閉環操作。nFControl Basic軟件提供了通過基於Windows的GUI輕鬆更改控制參數的功能。控制器與廣泛使用的應變計傳感器配合使用。它們的多功能封裝允許簡單集成到OEM設備或桌面使用。

EBD-120 Digital Controllers

nanoFaktur正在推出其新系列的數字控制器。因此，客戶的需求得以實現。從機箱開始：所有接口都放在正面，這樣可以果斷地保存佈線和訪問空間。有上枷鎖兩個回來，在底部，所以，最實際的整合可以選擇。

第二代EBD可用於驅動和讀取應變傳感器和電容式傳感器。可實現的分辨率是系統標稱範圍的5 ppm（rms）。內部算法允許在用參考測量系統表徵後進行線性化。在nanoFaktur，參考官方標準的最高精度探針被用作參考。因此，系統可以線性化到優於其各自完全位移的0.01％。

T2a Tip/Tilt, Beam-Steering

T2a壓電驅動平台僅在幾毫秒內傾斜和傾斜反射光學系統 - 這具有納伏級的分辨率。具有6和12 mrad偏轉的兩種標準版本適用於直徑達3“的光學元件。垂直軸位於平台表面下方8.3 mm處。

L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

L3a XYZ-Stages, 300 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。