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SFS MegaFocus 1000 µm

SFS MegaFocus是一種定位器/掃描儀，顯微鏡物鏡的測量範圍長達1000μm。身高很短，因此在朝向樣本的重要方向上節省了空間。通過標準螺釘（內六角扳手）將設備夾緊到頂部適配器，可以簡化安裝和更換。MegaFocus定位器配有位置傳感器，可定位定位，具有高線性度和可重複性。當然，可以使用開環版本。

詳細介紹

產品代碼	SFS-D01000	單元

位置傳感器	SGS，全橋
範圍，閉環	1000	微米
範圍，開環（-35 .. 150 V）	1100	微米
分辨率，開環	五	納米
分辨率，閉環	10	納米
線性，閉環	0.2	％
重複性	100	納米
推拉	20/10	ñ
加載	300	G
剛性	0.1	N /微米
諧振	135	赫茲
共振，負載250 g	80	赫茲
電氣帽。@ 1V eff，1kHz	17.8	μF
本體材料	鋁/不銹鋼
工作溫度	-20..80	℃下

規格說明

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