| 產品代碼 |
SFS-D00150 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
SGS，全橋 |
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| 範圍，閉環 |
150 |
微米 |
| 範圍，開環（0..150 V） |
180 |
微米 |
| 範圍，開環（-45..180 V） |
280 |
微米 |
| 分辨率，開環 |
0,8 |
納米 |
| 分辨率，閉環 |
1,5 |
納米 |
| 線性，閉環 |
0,2 |
％ |
| 重複性 |
15 |
納米 |
| 加載 |
130 |
G |
| 推/拉，最大 |
10/5 |
ñ |
| 橫向力，最大 |
五 |
ñ |
| 剛性 |
0,1 |
N /微米 |
| 共振，帶線程適配器 |
200 |
赫茲 |
| 共振，125克物鏡 |
80 |
赫茲 |
| 電容電容@ 1V eff，1kHz |
2.2 |
μF |
| 本體材料 |
鋁/不銹鋼 |
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| 工作溫度 |
-20 .. + 80 |
℃下 |
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SFS SlimFocus
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