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CPa Z-Stages, 500 µm

CPa-b00500是緊湊型Z級，可在小尺寸上提供長距離。佔地面積僅為60×60 mm。

詳細介紹

產品代碼	CPO-L00500	CPS-D00500	單元

位置傳感器	-	SGS，全橋
範圍，開環（-45..180 V）	600	600	微米
範圍，閉環	-	500	微米
分辨率，開環	3	3	納米
分辨率，閉環	-	五	納米
線性，閉環	-	0.2	％
重複性	-	50	納米
推/拉，最大	40/20		ñ
橫向力，最大	10		ñ
剛性	0.15		N /微米
共振，卸載	260		赫茲
共振，100 g負載	180		赫茲
電容@ 1V eff，1kHz	4.4		μF
本體材料	鋁/不銹鋼
連接器	雷莫	DSub15
工作溫度	-20 .. + 80		℃下

規格說明

CPa-b00500是緊湊型Z級，可在小尺寸上提供長距離。佔地面積僅為60×60 mm。

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