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L3a XYZ-Stages, 300 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

詳細介紹

產品編號	XY300Z20	XY300Z50	XY300Z100	XYZ300	單元

位置傳感器	Strain-Gage，全橋
範圍，閉環	300/300/20	300/300/50	300/300/100	300/300/300	微米
範圍，開環（-45 .. 180V）	480/480/24	480/480/60	480/480/120	480/480/360	微米
分辨率，閉環，XY / Z.	3 / 0.2	3 / 0.3	3 / 0.5	3 / 1.5	納米
分辨率，開環，XY / Z.	1.5 / 0.1	1.5 / 0.3	1.5 / 0.5	1.5 / 1.5	納米
線性，閉環	0.2				％
重複性，XY / Z.	30/2	30/5	30/10	30/30	納米
共振，XY，卸載	185				赫茲
共振，Z，卸載	680	600	580	450	赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1Veff 1kHz	XY13.2 / Z4.4		XY13.2 / Z8.8	XY13.2 / Z13.2	μF
尺寸（長x寬x高）	150x150x30				毫米
光圈，尺寸（長x寬）	66×66				毫米
車身/平台的材質	鋁，黑色
工作溫度	-20 .. 80				℃下
連接器	DSub25
電纜長度	1.5				米

規格說明

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