| 產品編號 |
L2S-D10300 |
L2S-D10600 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
Strain-Gage（SGS），全橋 |
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| 範圍，閉環 |
300 |
600 |
微米 |
| 範圍，開環（-45 .. 180V） |
420 |
720 |
微米 |
| 分辨率，閉環 |
3 |
6 |
納米 |
| 分辨率，開環 |
1 |
2 |
納米 |
| 線性，閉環 |
0.2 |
％ |
| 重複性，閉環 |
三十 |
60 |
納米 |
| 剛性 |
1 |
0.5 |
N /微米 |
| 共振，XY，卸載 |
210 |
175 |
赫茲 |
| 共振，爛Z，卸載 |
270 |
215 |
赫茲 |
| 薩爾瓦多。電容@ 1V eff 1kHz |
13.2 |
μF |
| 尺寸（長x寬x高） |
150x150x30 |
毫米 |
| 光圈，尺寸（長x寬） |
66×66 |
毫米 |
| 車身/平台的材質 |
鋁，黑色 |
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| 工作溫度 |
-20 .. 80 |
℃下 |
| 連接器 |
DSub25 |
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| 電纜長度 |
1.5 |
毫米 |
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L2a XY-Stages, 300/600 µm, Aperture
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