| 產品編號 |
C 10-L00600 |
C1S-D00600 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
- |
SGS |
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| 範圍（-45..180 V） |
900 |
900 |
微米 |
| 範圍，閉環 |
- |
600 |
微米 |
| 分辨率，開環 |
4 |
4 |
納米 |
| 分辨率，閉環 |
- |
6 |
納米 |
| 線性，閉環 |
- |
0.2 |
％ |
| 重複性，閉環 |
- |
50 |
納米 |
| 加載 |
200 |
G |
| 推拉 |
50/20 |
ñ |
| 剛性 |
0.15 |
N /微米 |
| 最低共振，卸載 |
190 |
赫茲 |
| 薩爾瓦多。電容@ 1V eff。1kHz時 |
4.4 /軸 |
μF |
| 本體材料 |
鋁，不銹鋼 |
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| 外形尺寸 |
60x60x21.5 |
毫米 |
| 線長度 |
1.5 |
米 |
| 連接器 |
Lemosa |
DSub15 |
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| 工作溫度 |
-20 .. 80 |
℃下 |
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C1a X-Stages, 600 µm
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