| 產品代碼 |
SFS-D00100 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
SGS，全橋 |
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| 範圍，閉環 |
100 |
微米 |
| 範圍，開環（0..150 V） |
100 |
微米 |
| 範圍，開環（-45..180 V） |
160 |
微米 |
| 分辨率，開環 |
0.5 |
納米 |
| 分辨率，閉環 |
1.0 |
納米 |
| 線性，閉環 |
0.2 |
％ |
| 重複性 |
10 |
納米 |
| 推/拉，最大 |
20/10 |
ñ |
| 橫向力，最大 |
10 |
ñ |
| 剛性 |
0.5 |
N /微米 |
| 共振，帶線程適配器 |
620 |
赫茲 |
| 共振，150克物鏡 |
260 |
赫茲 |
| 電容電容@ 1V eff，1kHz |
3.3 |
μF |
| 本體材料 |
鋁/不銹鋼鋼 |
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| 工作溫度 |
-20..80 |
℃下 |
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