| 產品編號 |
SPS-D00120 |
SPS-D00450 |
SPS-D00650 |
單元 |
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| 位移傳感器 |
應變計，全橋 |
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| 位移，閉環 |
120 |
450 |
650 |
微米 |
| 位移（-30..160 V） |
170 |
580 |
820 |
微米 |
| 分辨率，開環 |
0.4 |
1 |
2 |
納米 |
| 分辨率，閉環 |
0.6 |
2 |
3 |
納米 |
| 線性，閉環 |
0.1 |
％ |
| 重複性，閉環 |
6 |
14 |
21 |
納米 |
| 推拉 |
50/20 |
50/20 |
40/15 |
ñ |
| 共振，卸載 |
380 |
250 |
130 |
赫茲 |
| 薩爾瓦多。電容@ 1V eff。1kHz時 |
4.4 |
13.2 |
13.2 |
μF |
| 電氣連接 |
D-Sub 15 |
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| 尺寸，長x寬x高 |
237 x 156 x 15毫米 |
毫米 |
| 光圈，長x寬 |
142 x 110 |
毫米 |
| 本體材料 |
鋁，黑色陽極氧化 |
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| 工作溫度 |
-20..80 |
℃下 |
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SPS Sample Z-Stages
詳細介紹 
