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NANO FAKTUR >> Piezo-Stages 1D-2D-3D

L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

L3a XYZ-Stages, 300 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為300μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

L2a XY-Stages, 300/600 µm, Aperture

L2a階段用於掃描。定位範圍為300μm或600μm。這些階段只有30毫米高。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。66×66 mm的大孔徑允許從頂部和底部訪問樣品。L2a級也可以使用集成的Z軸。

CPa Z-Stages, 500 µm

CPa-b00500是緊湊型Z級，可在小尺寸上提供長距離。佔地面積僅為60×60 mm。

CPa Z-Stages, 250 µm

CPO-L00250和CPS-D00250是緊湊型Z級，具有最小尺寸和長距離。佔地面積僅為40×40毫米。

CPa Z-Stages，100μm

CPO-L00100和CPS-D00100是緊湊型Z級，尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。

C1a X-Stages, 600 µm

C1O-L00600和C1S-D00600是緊湊型X級，尺寸最小，長達900μm。尺寸僅為60x60x21.5毫米。

C1a X-Stages, 250 µm

C1O-L00250和C1S-D00250是緊湊型X級，尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。超過300μm的大範圍是這些尺寸的獨特之處。

C1a X-Stages，100μm

C1O-L00100和C1S-D00100是緊湊型X級，尺寸最小。佔地面積僅為40×40毫米。剛度和最低共振相對較高。這樣就可以高動態地使用這些階段。

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