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 L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture |
| L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。 |
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 詳細介紹 |
| 產品編號 |
XY600Z20 |
XY600Z50 |
XY600Z100 |
XY600Z300 |
單元 |
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| 位置傳感器 |
應變計，全橋 |
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| 範圍，閉環 |
600/600/20 |
600/600/50 |
600/600/100 |
600/600/300 |
微米 |
| 範圍，開環（-45 .. 180V） |
720/720/24 |
720/720/60 |
720/720/120 |
720/720/360 |
微米 |
| 分辨率，閉環，XY / Z. |
6 / 0.2 |
6 / 0.3 |
6 / 0.5 |
6 / 1.5 |
納米 |
| 分辨率，開環，XY / Z. |
3 / 0.1 |
3 / 0.3 |
3 / 0.5 |
3 / 1.5 |
納米 |
| 線性，閉環 |
0.2 |
％ |
| 重複性，XY / Z. |
60/1 |
60/3 |
60/5 |
60/15 |
納米 |
| 共振，XY，卸載 |
160 |
赫茲 |
| 共振，Z，卸載 |
550 |
520 |
510 |
410 |
赫茲 |
| 薩爾瓦多。電容@ 1Veff 1kHz |
XY13.2 / Z4.4 |
XY13.2 / Z8.8 |
XY13.2 / Z13.2 |
μF |
| 尺寸（長x寬x高） |
150x150x30 |
毫米 |
| 光圈，尺寸（長x寬） |
66×66 |
毫米 |
| 車身/平台的材質 |
鋁，黑色 |
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| 工作溫度 |
-20 .. 80 |
℃下 |
| 連接器 |
DSub25 |
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| 電纜長度 |
1.5 |
米 |
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| 規格說明 |
| L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。 |
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