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NANO FAKTUR
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L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

詳細介紹
產品編號 XY600Z20 XY600Z50 XY600Z100 XY600Z300 單元
           
位置傳感器 應變計,全橋  
範圍,閉環 600/600/20 600/600/50 600/600/100 600/600/300 微米
範圍,開環(-45 .. 180V) 720/720/24 720/720/60 720/720/120 720/720/360 微米
分辨率,閉環,XY / Z. 6 / 0.2 6 / 0.3 6 / 0.5 6 / 1.5 納米
分辨率,開環,XY / Z. 3 / 0.1 3 / 0.3 3 / 0.5 3 / 1.5 納米
線性,閉環 0.2
重複性,XY / Z. 60/1 60/3 60/5 60/15 納米
共振,XY,卸載 160 赫茲
共振,Z,卸載 550 520 510 410 赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1Veff 1kHz XY13.2 / Z4.4 XY13.2 / Z8.8 XY13.2 / Z13.2 μF
尺寸(長x寬x高) 150x150x30 毫米
光圈,尺寸(長x寬) 66×66 毫米
車身/平台的材質 鋁,黑色  
工作溫度 -20 .. 80 ℃下
連接器 DSub25  
電纜長度 1.5
規格說明
L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高,並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本,以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用,以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

 

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