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NANO FAKTUR
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L2a XY-Stages, 300/600 µm, Aperture
L2a階段用於掃描。定位範圍為300μm或600μm。這些階段只有30毫米高。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。66×66 mm的大孔徑允許從頂部和底部訪問樣品。L2a級也可以使用集成的Z軸。

 

詳細介紹
產品編號 L2S-D10300 L2S-D10600 單元
       
位置傳感器 Strain-Gage(SGS),全橋  
範圍,閉環 300 600 微米
範圍,開環(-45 .. 180V) 420 720 微米
分辨率,閉環 3 6 納米
分辨率,開環 1 2 納米
線性,閉環 0.2
重複性,閉環 三十 60 納米
剛性 1 0.5 N /微米
共振,XY,卸載 210 175 赫茲
共振,爛Z,卸載 270 215 赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1V eff 1kHz 13.2 μF
尺寸(長x寬x高) 150x150x30 毫米
光圈,尺寸(長x寬) 66×66 毫米
車身/平台的材質 鋁,黑色  
工作溫度 -20 .. 80 ℃下
連接器 DSub25  
電纜長度 1.5 毫米
規格說明
L2a階段用於掃描。定位範圍為300μm或600μm。這些階段只有30毫米高。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾,並產生出色的運動平整度。66×66 mm的大孔徑允許從頂部和底部訪問樣品。L2a級也可以使用集成的Z軸。

 

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