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NANO FAKTUR

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SFS RangeFocus100-600μm

SFS RangeFocus是一系列定位器/掃描儀，具有很長的顯微鏡物鏡範圍。可用的位移為100至600μm。身高很短，因此在朝向樣本的重要方向上節省了空間。通過標準螺釘（內六角扳手）將設備夾緊到頂部適配器，可以簡化安裝和更換。RangeFocus定位器配有位置傳感器，用於定義定位，具有高線性度和可重複性。當然，可以使用開環版本。

詳細介紹

產品代碼	SFS-D10100	SFS-D10300	SFS-D10600	單元

位置傳感器	SGS，全橋
範圍，閉環	100	300	600	微米
範圍，開環（-45..180 V）	130	370	680	微米
分辨率，開環	0.5	1	2	納米
分辨率，閉環	1.0	3	6	納米
線性，閉環	0.2	0.2	0,2	％
重複性	10	28	50	納米
推/拉，最大	20/15	20/15	20/10	ñ
剛性	0.38	0.22	0.2	N /微米
共振，帶線程適配器	470	310	250	赫茲
電氣帽。@ 1V eff，1kHz	1.1	3.3	6.6	μF
本體材料	鋁/不銹鋼
工作溫度	-20..80			℃下

規格說明

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