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NANO FAKTUR >> Piezo-Stages 1D-2D-3D

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L3a XYZ-Stages, 600 µm, Aperture

L3a階段用於掃描和跟踪。X和Y的基本定位範圍為600μm。這些階段是原子力和近場顯微鏡的理想選擇。它們只有30毫米高，並提供66×66毫米的光圈。高精度無摩擦彎曲導向葉片接近零串擾，並產生出色的運動平整度。可提供具有不同Z範圍的版本，以滿足那些需要更高動態性和更高分辨率的應用，以及那些必須覆蓋更大高度變化的應用。

詳細介紹

產品編號	XY600Z20	XY600Z50	XY600Z100	XY600Z300	單元

位置傳感器	應變計，全橋
範圍，閉環	600/600/20	600/600/50	600/600/100	600/600/300	微米
範圍，開環（-45 .. 180V）	720/720/24	720/720/60	720/720/120	720/720/360	微米
分辨率，閉環，XY / Z.	6 / 0.2	6 / 0.3	6 / 0.5	6 / 1.5	納米
分辨率，開環，XY / Z.	3 / 0.1	3 / 0.3	3 / 0.5	3 / 1.5	納米
線性，閉環	0.2				％
重複性，XY / Z.	60/1	60/3	60/5	60/15	納米
共振，XY，卸載	160				赫茲
共振，Z，卸載	550	520	510	410	赫茲
薩爾瓦多。電容@ 1Veff 1kHz	XY13.2 / Z4.4		XY13.2 / Z8.8	XY13.2 / Z13.2	μF
尺寸（長x寬x高）	150x150x30				毫米
光圈，尺寸（長x寬）	66×66				毫米
車身/平台的材質	鋁，黑色
工作溫度	-20 .. 80				℃下
連接器	DSub25
電纜長度	1.5				米

規格說明

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